東京大學(xué)研究生院情報(bào)理工學(xué)系研究科教授下山勛的研究小組開發(fā)成功了可安裝在蜻蜓等昆蟲的翅膀上，可分析翅膀動(dòng)作的微型風(fēng)速傳感器，并在MEMS國際學(xué)會(huì)“MEMS2008”（美國亞利桑那州圖森市，08年1月13～17日）上結(jié)合現(xiàn)場演示進(jìn)行了發(fā)表。

　　該小組開發(fā)的微型風(fēng)速傳感器尺寸約為3mm見方，厚度約為1mm。在3mm見方的芯片上配備了2個(gè)傳感器，每個(gè)傳感器的尺寸約為1.5mm×3mm。

　　下山研究小組在開發(fā)MEMS的同時(shí)，還研究昆蟲的動(dòng)作。這是受原東京大學(xué)工學(xué)系機(jī)械情報(bào)工學(xué)專業(yè)教授三浦宏文曾在該研究室研究昆蟲活動(dòng)的影響。此次傳感器的開發(fā)目的是將MEMS技術(shù)應(yīng)用于昆蟲的動(dòng)作解析中。

　　傳感器采用在帶電極的SOI底板上形成長約0.5mm、厚1μm以下的懸臂梁（懸臂彈簧）壓電電阻的構(gòu)造。壓電電阻采用硅半導(dǎo)體，當(dāng)風(fēng)吹向懸臂，懸臂產(chǎn)生應(yīng)變時(shí)，這一應(yīng)變會(huì)使電阻發(fā)生變化，這樣就會(huì)得到變形的數(shù)值，進(jìn)而獲得風(fēng)的強(qiáng)度值。懸臂部分的重量僅為0.1μg。

　　傳感器的性能方面，已確認(rèn)可實(shí)現(xiàn)此前的目標(biāo)——測量-2m/s～2m/s的風(fēng)速。此前曾擔(dān)心把傳感器安裝到1秒內(nèi)上下振動(dòng)數(shù)次的翅膀上，懸臂會(huì)因?yàn)槌岚虻募铀俣榷�產(chǎn)生噪音。而此次也把其影響減小到了測定值的3～10％（標(biāo)準(zhǔn)5%），已確認(rèn)實(shí)際應(yīng)用時(shí)沒有問題。“傳感器的共振（固有）頻率為10Hz以上，（對(duì)于數(shù)Hz的翅膀振動(dòng)頻率而言）基本不受影響”（山下研究小組發(fā)布人員）

　　昆蟲和MEMS成為課題之一

　　此次的MEMS2008上，除上述成果外，還有幾件關(guān)于在昆蟲研究中應(yīng)用MEMS的研究成果發(fā)布。尤其引人注目的發(fā)布是，在銅花金龜子和蛾的神經(jīng)上安裝電極、類似遙控玩具那樣進(jìn)行操控的技術(shù)（均在1月17日）。

　　美國國防部研究機(jī)構(gòu)“國防高級(jí)研究計(jì)劃局（DARPA）”07年公布了昆蟲的準(zhǔn)機(jī)器人計(jì)劃“HybridInsectMEMS（HI-MEMS）”。此次關(guān)于銅花金龜子和蛾的研究也得到了DARPA的援助。