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日本成功開發(fā)出微型風(fēng)速傳感器

來源:neo-con.cn 點(diǎn)擊: 發(fā)布時間:2008/3/27 13:23:03
 東京大學(xué)研究生院情報理工學(xué)系研究科教授下山勛的研究小組開發(fā)成功了可安裝在蜻蜓等昆蟲的翅膀上,可分析翅膀動作的微型風(fēng)速傳感器,并在MEMS國際學(xué)會“MEMS2008”(美國亞利桑那州圖森市,08年1月13~17日)上結(jié)合現(xiàn)場演示進(jìn)行了發(fā)表。

  該小組開發(fā)的微型風(fēng)速傳感器尺寸約為3mm見方,厚度約為1mm。在3mm見方的芯片上配備了2個傳感器,每個傳感器的尺寸約為1.5mm×3mm。

  下山研究小組在開發(fā)MEMS的同時,還研究昆蟲的動作。這是受原東京大學(xué)工學(xué)系機(jī)械情報工學(xué)專業(yè)教授三浦宏文曾在該研究室研究昆蟲活動的影響。此次傳感器的開發(fā)目的是將MEMS技術(shù)應(yīng)用于昆蟲的動作解析中。

  傳感器采用在帶電極的SOI底板上形成長約0.5mm、厚1μm以下的懸臂梁(懸臂彈簧)壓電電阻的構(gòu)造。壓電電阻采用硅半導(dǎo)體,當(dāng)風(fēng)吹向懸臂,懸臂產(chǎn)生應(yīng)變時,這一應(yīng)變會使電阻發(fā)生變化,這樣就會得到變形的數(shù)值,進(jìn)而獲得風(fēng)的強(qiáng)度值。懸臂部分的重量僅為0.1μg。

  傳感器的性能方面,已確認(rèn)可實(shí)現(xiàn)此前的目標(biāo)——測量-2m/s~2m/s的風(fēng)速。此前曾擔(dān)心把傳感器安裝到1秒內(nèi)上下振動數(shù)次的翅膀上,懸臂會因?yàn)槌岚虻募铀俣榷a(chǎn)生噪音。而此次也把其影響減小到了測定值的3~10%(標(biāo)準(zhǔn)5%),已確認(rèn)實(shí)際應(yīng)用時沒有問題!皞鞲衅鞯墓舱瘢ü逃校╊l率為10Hz以上,(對于數(shù)Hz的翅膀振動頻率而言)基本不受影響”(山下研究小組發(fā)布人員)

  昆蟲和MEMS成為課題之一

  此次的MEMS2008上,除上述成果外,還有幾件關(guān)于在昆蟲研究中應(yīng)用MEMS的研究成果發(fā)布。尤其引人注目的發(fā)布是,在銅花金龜子和蛾的神經(jīng)上安裝電極、類似遙控玩具那樣進(jìn)行操控的技術(shù)(均在1月17日)。

  美國國防部研究機(jī)構(gòu)“國防高級研究計劃局(DARPA)”07年公布了昆蟲的準(zhǔn)機(jī)器人計劃“HybridInsectMEMS(HI-MEMS)”。此次關(guān)于銅花金龜子和蛾的研究也得到了DARPA的援助。
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